TOPCon激光掺杂设备

将BSG（硼硅玻璃）作为掺杂源时，先通过扩散炉推进高硼表面浓度的P++层，但不进行氧化，以P++层作为激光掺杂源，再进行激光掺杂和氧化工艺，能够在解决硼掺浓度问题的同时简化选择发射极的制备工艺流程。